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【精密陶瓷】有機EL坩堝的應用

 

      有機EL,是Organic Electro-Luminescence的簡稱。有機EL坩堝又叫hearth liner(爐膛內襯)。所蒸發的陰極材料為容易釋放電子的金屬,多為鋁,銀鎂合金,鈣等金屬薄膜。

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      有機EL坩堝是電子束沉積法(以下簡稱EB法)中,放置於設備凹部(一般被稱作hearth或者hearth孔,或者坩堝穴 )用來盛放蒸發材料的坩堝。下圖為裝有有機EL坩堝的磁場偏向型EB蒸發源(電子槍)的示例圖

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      坩堝爐床壁由銅製成,通過冷卻水進行冷卻,包含冷卻水在內的部分被稱作是“hearth”,“hearth”可以放置好幾組,也可以直接將蒸發材料放入“hearth”內,根據需要進行旋轉一下“hearth”的方向,讓電子束直接打在蒸發材料上。不過,將蒸發材料直接放進“hearth”的情況很少。放進“hearth”裏麵的襯底liner,被稱作“hearth liner”.一般會放入坩堝,然後將蒸發材料放入坩堝內進行蒸發。
      山東國晶新材料有限是國內較早實現化學氣相沉積技術生產有機EL坩堝的企業,擁有專業的研發團隊及自主設計的大規模化學氣相沉積生產線,可根據客戶用途設計生產方案和產品規格。目前,國晶生產的有機EL坩堝已通過多家客戶的測試並大規模使用。

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