English 中文
 

MOCVD加熱器

● 產品概述:
       MOCVD(有機金屬化學氣相沉積法,Metal-organic Chemical Vapor Deposition)是在基板上生成半導體薄膜的一種方法,是在氣相外延生長(VPE)的基礎上發展起來的一種新型氣相外延生長技術。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有機化合物和V、Ⅵ族元素的氫化物等作為晶體生長源材料,以熱分解反應方式在襯底上進行氣相外延,生長各種Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半導體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。
      電阻絲加熱器主要是用在托馬斯(被愛思強收購)設備。加熱絲一般是鎢絲,反射板用PBN製作,電阻加熱以輻射換熱為主,通過多區域加熱優化各區的結構實現溫度均勻化的配置。
      電阻片加熱器主要用在維易科(Veeco)設備。這種加熱器加熱直接,而且加熱效率高。
主要參數:

設備商 機型 加熱器

Thomas Swan

19x2” 31x2” 54x2” 69x2” Zone A/B/C

Veeco

21 x2” 45 x2”    

Zone I /M /O


產品的應用:
  MOCVD設備內基盤加熱。
聯係方式:
   訂購熱線:0534-2129266

* 國晶官網鏈接:https://www.guojingxincai.com

Copyright©2017 禹王集團 All Rights Reserved   網站備案/許可證號:魯ICP備05034554號